華東光交聯(lián)型光刻膠顯示面板材料
光刻膠的曝光機(jī)理很復(fù)雜。Ober課題組和Giannelis課題組指出,其中起主導(dǎo)作用的應(yīng)為配體交換過程。若體系內(nèi)有光致產(chǎn)酸劑或光自由基引發(fā)劑,它們?cè)谑艿焦庹蘸笮纬尚碌呐潴w,與金屬納米顆粒表面的配體交換;若不加入光敏劑,光照后納米顆粒殼層的少量羧酸基團(tuán)會(huì)與納米顆粒解離,從而改變金屬氧化物電荷,使雙電層變寬,促使納米顆粒的聚集。但美國(guó)德克薩斯大學(xué)達(dá)拉斯分校的Mattson等通過原位紅外光譜、X射線光電子能譜和密度泛函計(jì)算等手段發(fā)現(xiàn),溶解度轉(zhuǎn)變過程主要是由于配體發(fā)生了自由基引發(fā)的不飽和碳-碳雙鍵交聯(lián)反應(yīng)導(dǎo)致的。此類光刻膠的反應(yīng)機(jī)理還有待進(jìn)一步研究。以分子玻璃為成膜樹脂制備的光刻膠能夠獲得較高的分辨率和較低粗糙度的圖形。華東光交聯(lián)型光刻膠顯示面板材料
2008年起,日本大阪府立大學(xué)的Okamura課題組利用聚對(duì)羥基苯乙烯衍生物來(lái)構(gòu)造非化學(xué)放大型光刻膠。他們制備了對(duì)羥基苯乙烯單元和含有光敏基團(tuán)的對(duì)磺酰胺苯乙烯單元的共聚物,作為光刻膠的主體材料。光照下,光敏劑產(chǎn)生自由基,使對(duì)羥基苯乙烯鏈之間發(fā)生交聯(lián)反應(yīng),可作為EUV負(fù)性光刻膠使用。隨后,他們又在對(duì)羥基苯乙烯高分子上修飾烯烴或炔烴基團(tuán),體系中加入多巰基化合物作為交聯(lián)劑,以及光照下可以產(chǎn)生自由基的引發(fā)劑,構(gòu)建了光引發(fā)硫醇-烯烴加成反應(yīng)體系,該體系同樣可以作為EUV負(fù)性光刻膠使用。值得指出的是,上述工作使用的對(duì)羥基苯乙烯衍生物的分子量均比較小,有助于提高光刻膠的分辨率。由于均為自由基反應(yīng),光刻過程的產(chǎn)氣量也明顯小于一般的光刻膠體系。蘇州KrF光刻膠單體產(chǎn)品純度、金屬離子雜質(zhì)控制等也是光刻膠生產(chǎn)工藝中需面臨的技術(shù)難關(guān),光刻膠純度不足會(huì)導(dǎo)致芯片良率下降。
KrF光刻時(shí)期,與ESCAP同期發(fā)展起來(lái)的還有具有低活化能的酸致脫保護(hù)基團(tuán)的光刻膠,業(yè)界通稱低活化能膠或低溫膠。與ESCAP相比,低活化能膠無(wú)需高溫后烘,曝光能量寬裕度較高,起初由日本的和光公司和信越公司開發(fā),1993年,IBM公司的Lee等也研發(fā)了相同機(jī)理的光刻膠KRS系列,商品化版本由日本的JSR公司生產(chǎn)。其結(jié)構(gòu)通常為縮醛基團(tuán)部分保護(hù)的對(duì)羥基苯乙烯,反應(yīng)機(jī)理如圖12所示。2004年,IBM公司的Wallraff等利用電子束光刻比較了KRS光刻膠和ESCAP在50nm線寬以下的光刻性能,預(yù)示了其在EUV光刻中應(yīng)用的可能性。
靈敏度即光刻膠上產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形所需一定波長(zhǎng)光的較小能量值(或較小曝光量)。單位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。光刻膠的敏感性對(duì)于波長(zhǎng)更短的深紫外光(DUV)、極深紫外光(EUV)等尤為重要 。負(fù)膠通常需5~15 s時(shí)間曝光,正膠較慢,其曝光時(shí)間為負(fù)膠的3~4倍 。靈敏度反映了光刻膠材料對(duì)某種波長(zhǎng)的光的反應(yīng)程度。不同的光刻膠對(duì)于不同的波長(zhǎng)的光是有選擇性的。比如248 nm波長(zhǎng)光刻膠的成膜樹脂中存在苯環(huán)結(jié)構(gòu),對(duì)193 nm波長(zhǎng)的光具有很強(qiáng)的吸收作用,即對(duì)193 nm波長(zhǎng)的光是不透明的,因此193 nm光刻膠必須改變樹脂主體。同時(shí),高的產(chǎn)出要求短的曝光時(shí)間,對(duì)光刻膠的靈敏度要求也越來(lái)越高。通常以曝光劑量作為衡量光刻膠靈敏度的指標(biāo),曝光劑量值越小,光刻膠的靈敏度越高。i線光刻膠材料曝光劑量在數(shù)百mJ/cm2左右,而KrF和ArF的光刻膠材料,其曝光劑量則在30和20 mJ/cm2左右 。靈敏度可以體現(xiàn)于光刻膠的對(duì)比度曲線上。光刻膠是一大類具有光敏化學(xué)作用的高分子聚合物材料,是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照?qǐng)D案的媒介。
盡管HSQ可以實(shí)現(xiàn)較好的EUV光刻圖案,且具有較高的抗刻蝕性能,但HSQ較低的靈敏度無(wú)法滿足EUV光刻的需求,且價(jià)格非常昂貴,難以用于商用的EUV光刻工藝中。另外,盡管HSQ中Si含量很高,但由于O含量也很高,所以HSQ并未展現(xiàn)含Si光刻膠對(duì)EUV光透光性的優(yōu)勢(shì),未能呈現(xiàn)較高的對(duì)比度。因此,研發(fā)人員將目光轉(zhuǎn)向側(cè)基修飾的高分子光刻膠。使用含硅、含硼單元代替高分子光刻膠原本的功能性含氧側(cè)基,既可有效降低光刻膠對(duì)EUV光的吸收,又有助于提高對(duì)比度,也可提高抗刻蝕性。光刻膠達(dá)到下游客戶要求的技術(shù)指標(biāo)后,還需要進(jìn)行較長(zhǎng)時(shí)間驗(yàn)證測(cè)試(1-3 年)。普陀KrF光刻膠
光刻膠下游為印刷電路板、顯示面板和電子芯片,廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、航空航天等領(lǐng)域。華東光交聯(lián)型光刻膠顯示面板材料
無(wú)論是高分子型光刻膠,還是單分子樹脂型光刻膠,都難以解決EUV光吸收和抗刻蝕性兩大難題。光刻膠對(duì)EUV吸收能力的要求曾隨著EUV光刻技術(shù)的進(jìn)展而發(fā)生改變,而由于EUV光的吸收只與原子有關(guān),因而無(wú)論是要透過性更好,還是要吸收更強(qiáng),只通過純有機(jī)物的分子設(shè)計(jì)是不夠的。若想降低吸收,則需引入低吸收原子;若想提高吸收,則需引入高吸收原子。此外,由于EUV光刻膠膜越來(lái)越薄,對(duì)光刻膠的抗刻蝕能力要求也越來(lái)越高,而無(wú)機(jī)原子的引入可以增強(qiáng)光刻膠的抗刻蝕能力。于是針對(duì)EUV光刻,研發(fā)人員設(shè)計(jì)并制備了一大批有機(jī)-無(wú)機(jī)雜化型光刻膠。這類光刻膠既保留了高分子及單分子樹脂光刻膠的設(shè)計(jì)靈活性和較好的成膜性,又可以調(diào)節(jié)光刻膠的EUV吸收能力,增強(qiáng)抗刻蝕性。華東光交聯(lián)型光刻膠顯示面板材料
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作用機(jī)理:防銹油對(duì)極性物質(zhì)的中和置換和增溶作用:防銹油中堿性防銹劑可與酸性腐蝕介質(zhì)進(jìn)行中和反應(yīng);高分子羧酸皂除了部分游離的羧酸能中和堿外,還可與腐蝕性酸發(fā)生復(fù)分解反應(yīng)生成新鹽和高分子羧酸,使有些防銹油 。
廣州昌睿環(huán)??萍加邢薰臼且患覍W⒂诃h(huán)保領(lǐng)域的企業(yè),其主要業(yè)務(wù)是生產(chǎn)和銷售“冰醋酸-乙酸”。這種化學(xué)物質(zhì)在工業(yè)生產(chǎn)中有著廣泛的應(yīng)用,特別是在紡織、皮革、食品、醫(yī)藥等行業(yè)中,都有著重要的作用。“冰醋酸- 。
膜結(jié)構(gòu)停車棚的使用壽命會(huì)受到多種因素的影響,包括材料類型、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與維護(hù)情況等。一般來(lái)說,高質(zhì)量的膜材料和正確的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以延長(zhǎng)停車棚的使用壽命,但維護(hù)情況也是非常重要的。如果膜結(jié)構(gòu)停車棚能夠得到適當(dāng) 。
CT診斷方艙車可行駛于各種復(fù)雜路況,運(yùn)行于野外或社區(qū)環(huán)境,為院前急救提供及時(shí)、準(zhǔn)確的臨床診斷信息。所含32層64排螺旋CT,主要用于四肢損傷、顱腦出血、頸腰椎病變、肺部微小病變及炎癥和其它部位急性損傷 。
電能計(jì)量箱類型(一)整體式電能計(jì)量箱整體式的電能計(jì)量箱能夠?qū)⑺械碾姎庠O(shè)備安置在一個(gè)電氣、機(jī)械結(jié)構(gòu)組合形成的金屬封閉高壓/低壓箱中。在電能計(jì)量箱類型的增多下,整體式電能計(jì)量箱具體又分成了固定和開放兩種 。
按作用和用途分銅閥門主要分為以下幾類銅閘閥:閘閥是指關(guān)閉件(閘板)沿通道軸線的垂直方向移動(dòng)的閥門,在管路上主要作為切斷介質(zhì)用,即全開或全關(guān)使用。-1.銅閥門:閘閥是指關(guān)閉件(閘板)沿通道軸線的垂直方向 。
不銹鋼球閥安裝之前的準(zhǔn)備工作主要分為如下幾步:一:清洗步驟:1、根據(jù)加工要求,不銹鋼閥門部分零部件需要做拋光處理,表面不能有加工毛刺等;2、所有零部件進(jìn)行脫脂處理;3、脫脂完成后進(jìn)行酸洗鈍化(清洗劑不 。
要確保保潔服務(wù)的持續(xù)性和穩(wěn)定性,需要采取以下措施:1.建立穩(wěn)定的人員隊(duì)伍:招聘合適的員工,提供良好的工作環(huán)境和福利待遇,培訓(xùn)員工的技能和服務(wù)意識(shí),增強(qiáng)員工的歸屬感和忠誠(chéng)度,減少員工的流失率。2.建立完 。
空間全案中空間設(shè)計(jì)常用的手法:1、假借景:這種方法主要適合狹小空間或者趣味空間,是指通過外在的視覺來(lái)實(shí)現(xiàn)無(wú)限延伸。2、借景:借景可以在視覺上產(chǎn)生很好的效果,也可以在聲音和空氣上做出分隔??梢酝ㄟ^窗、門 。